一种机械手臂装置和控制方法

本发明公开的一种机械手臂装置和控制方法，涉及半导体加工设备技术领；本发明中，通过控制第一驱动轴第二驱动轴以特定的传动比配合实现机械手臂的伸臂、缩臂和旋转运动，具体的，伸臂时第一驱动轴与第二驱动轴传动比为1:‑1；缩臂时第一驱动轴与第二驱动轴传动比为‑1:1；保持第一壳体与第二壳体相对位置不变旋转时，第一驱动轴与第二驱动轴传动比为1:1。本发明通过特定的结构设置，结合对第一驱动轴和第二驱动轴的简单协同控制，使得外部控制器只需根据期望的运动模式（伸臂、缩臂或旋转），向两个驱动轴发出遵循固定传动比的旋转指令即可；可提高装置的响应速度与可靠性，同时降低了整体成本；整体结构紧凑，可靠性高。