一种碳化硅晶圆多线切割的全系统冷却装置及方法

本发明提供了一种碳化硅晶圆多线切割的全系统冷却装置及方法，通过“电机水冷‑冷却液净化‑电器柜恒温‑压缩机冷却”的全系统冷却网络，搭配“应力传感+罗拉微槽”的线体精准控制结构：电机采用主轴水冷轴带流量控制的双路冷却设计，冷却液集成多级过滤与恒温模块，电器柜加装精密空调，压缩机配备专用水冷套；同时通过收放线轮两端的应力传感器实时监测线体状态，罗拉微槽约束金刚线轨迹。本装置解决了传统切割中线体易绷断、冷却不均、设备寿命短等问题，使金刚线绷断率降低85％，12英寸和8英寸晶圆切割精度达±4μm，电机功率衰减率＜5％，设备维护成本降低40％，适用于大尺寸碳化硅晶圆量产场景，具有显著的技术与经济价值。