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Dossier

金刚石微粉尖角腐蚀钝化方法、金刚石磨料及其应用

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§ Ⅰ

Dossier Overview

Inventor

翁格菲; 郭兵健; 孙毅锋; 张颖; 刘小磐

IPC Classification

C01B 32/28 (2017.01)B24B 37/00 (2012.01)C09K 3/14 (2006.01)C09G 1/02 (2006.01)

本发明提供了一种金刚石微粉尖角腐蚀钝化方法,包括将铝粉、Ni‑B(20)合金和金刚石微粉组成的原料混合后于保护气氛下加热至700‑750℃,使熔融的Al‑Ni‑B合金腐蚀金刚石微粉尖角的步骤。本发明还提供了所述方法制备得到的金刚石磨料。同时,本发明还提供了所述金刚石磨料在晶圆研磨领域的应用。

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