一种基于动态压力的高热导率氮化铝陶瓷基板及制备方法

本发明公开了一种基于动态压力的高热导率氮化铝陶瓷基板及制备方法，包括以下步骤：步骤1：将氮化铝陶瓷粉体装模后，升温至预烧温度进行预烧，冷却后得到预烧坯体；预烧温度为1300～1600 ℃；升温阶段加载基础静态压力，达到预烧温度后，叠加动态压力保温1～300 min；步骤2：预烧坯体升温至烧锻温度，进行烧锻；烧锻温度为1600～2100 ℃；升温阶段加载基础静态压力，达到烧锻温度后叠加动态压力保温1～600 min；步骤3：将烧锻后的陶瓷坯体进行热处理，热处理后得到所需陶瓷基板；本发明通过动态压力下预烧‑烧锻相互配合可有效提升AlN陶瓷结构性能均匀性，提高陶瓷的致密度，提高陶瓷基板的热导率，缩短制备流程和工艺周期。