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기록
一种大尺寸硅片钨丝线切割液、其制备方法和用途
발명유효
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
출원인
江苏奥首材料科技有限公司
발명자
侯军; 李传友; 吕婧; 樊策策; 孙瑶
IPC 분류
C10M 173/00 (2006.01)B28D 5/04 (2006.01)B28D 7/00 (2006.01)B28D 7/02 (2006.01)B24B 27/06 (2006.01)B24B 55/02 (2006.01)C10N 30/04 (2006.01)C10N 30/06 (2006.01)C10N 30/00 (2006.01)
本发明涉及一种大尺寸硅片钨丝线切割液、其制备方法和用途，其中钨丝线切割液，按照重量份计算包括如下组分：去离子水40‑60份；增溶剂7‑15份；润湿剂10‑20份；润滑剂2‑8份；分散剂1‑8份。本发明采用的分散剂不仅可以渗透到硅粉之间起到良好的分散性，其自身的润湿渗透性可以与润湿剂协同作用，提高切割力，降低断线率。