一种高纯铜靶材的加工方法

本发明提供了一种高纯铜靶材的加工方法，所述加工方法包括如下步骤：将高纯铜靶坯经塑性加工后，得到变形铜靶坯，将所述变形铜靶坯依次进行第一阶段退火和第二阶段退火，然后进行机加工，得到高纯铜靶材成品。本发明提供的加工方法，在对铜靶材进行塑性加工后，进行两阶段退火处理，通过退火过程的精准控制，平衡靶材内部应力，靶材仍保持高质量的微观结构，靶材在经受机加工后，如切削，仍能保持高尺寸精度，低平面度和高平行度，进而提升靶材溅射平稳性，提升镀膜质量。