润滑DLC薄膜及其制备方法以及滑片、压缩机

本申请涉及表面处理技术领域，公开了一种润滑DLC薄膜及其制备方法以及滑片、压缩机。本申请所述润滑DLC薄膜包括底层的Cr层、中间层的Cr‑C过渡层，以及表层的DLC膜层；所述Cr‑C过渡层中Cr含量沿底层至表层的方向逐渐递减，C含量沿底层至表层的方向逐渐递增。本申请润滑DLC薄膜中纯Cr层可以有效防止滑片基底元素扩散到DLC薄膜中，有助于维持DLC薄膜的纯度和性能。在此基础上以Cr与C两种元素的含量梯度变化形成过渡中间层，依靠Cr与C的化学亲和特性，提高DLC薄膜与滑片基底的结合力，促进界面的稳定性，使得表层DLC薄膜能够稳定持久的发挥润滑性能，减少滑片和缸体之间的磨损，保障空调压缩机工况稳定性。