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기록

一种码盘产品高低反蓝膜镀膜工艺

발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

IPC 분류

C23C 14/18 (2006.01)C23C 14/08 (2006.01)C23C 14/58 (2006.01)C23C 14/35 (2006.01)C23C 14/24 (2006.01)

本发明涉及码盘产品镀膜工艺领域,具体涉及一种码盘产品高低反蓝膜镀膜工艺。本发明公开了一种码盘产品高低反蓝膜镀膜工艺,包括S1基材预处理、S2高反层镀膜、S3低反蓝膜镀膜、S4光刻胶涂覆、S5母版制作、S6显影和S7蚀刻七步。本发明通过参数精准控制,使高反码道与低反蓝膜形成强烈对比度,显著提升信号准确性、抗干扰能力及码盘精度,适用于高脉冲数场景,且生产效率高。