一种锡靶材与背管一体化浇注成型的制造方法

本发明涉及溅射靶材技术领域，具体涉及一种锡靶材与背管一体化浇注成型的制造方法，包括以下步骤：背管表面预处理：选取无氧铜或不锈钢背管，依次进行表面清洁、增强处理，所述增强处理为镀镍镀层；浇注模具准备与背管定位：将预处理后的背管作为嵌件固定于浇注模具内，保证背管与模具型腔的同轴度。采用锡靶材与背管一体化浇注成型的特殊工艺制成的产品能够实现界面强度性、热导率协调性，同时产品耐腐程度稳定性效果显著。