CNIPA.AI
검색으로 돌아가기
기록

一种真空镀膜用托盘传动系统及连续真空镀膜设备

발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

李晓东; 见东伟; 马永

IPC 분류

C23C 14/50 (2006.01)C23C 14/54 (2006.01)

本申请涉及一种真空镀膜用托盘传动系统及连续真空镀膜设备,涉及真空镀膜托盘传动领域,包括:托盘主体和驱动装置,托盘主体一侧设置有导向配合件,驱动装置包括动力输入设备和导向驱动件,导向驱动件被设计为可驱动导向配合件移动,动力输入设备设置于真空镀膜设备外部,导向驱动件设置于真空镀膜设备内部,用于驱动导向配合件移动,动力输入设备通过密封传动件控制导向驱动件动作,以使得导向配合件带动托盘主体沿产线方向移动,通过将动力输入设备设置在真空镀膜设备外部,从而能够避免动力输入设备产生的有机挥发对真空镀膜产生影响,另一方面由于密封传动件的密封条件更好,能够抵抗真空镀膜设备的内外压强差的同时,顺利传动托盘主体。