一种有机废油水蒸气重整耦合化学气相沉积金刚石镀膜系统及方法

本申请公开了一种有机废油水蒸气重整耦合化学气相沉积金刚石镀膜系统及方法，系统包括杂质预处理模块、水蒸气重整模块、补充气源模块、气体预混模块、在线气相色谱分析模块和化学气相沉积金刚石镀膜模块；杂质预处理模块用于去除有机废油中的固体颗粒、水分、硫化物和胶质；水蒸气重整模块，用于将经预处理的有机废油与水蒸气在催化剂作用下反应，生成以甲烷和氢气为主的混合气，混合气中补充氢气并通过线气相色谱分析模块实时监测调节混合气的组分含量；化学气相沉积金刚石镀膜模块，将调节后的混合气转化为金刚石薄膜沉积于基材表面。本发明利用有机废油重整产物替代传统人工合成气源，显著降低金刚石镀膜的生产成本，实现有机废油高值化利用。