一种制备耐高温耐腐蚀碳化钽涂层的装置及其方法

本申请提供一种制备耐高温耐腐蚀碳化钽涂层的装置及其方法，装置包括设备外壳，设备外壳内部具有空腔；反应室，反应室设置在设备外壳的空腔中，反应室包括有反应器，反应器中设有镀件摆放区以及石墨坩埚；镀件摆放区用于放置待镀石墨部件，石墨坩埚用于放置金属源；输气组件，输气组件设置在设备外壳上，输气组件伸入设备外壳内部且输气组件的部分结构伸入反应器中；输气组件用于为设备外壳以及反应室提供保护气体，为反应器提供反应气体；尾气处理组件，尾气处理组件设置在设备外壳的底部；尾气处理组件用于调控反应压力、尾气处理以及将设备外壳内部抽真空。本申请通过上述方案解决了现有碳化钽涂层制备方案复杂以及能耗高的问题。