一种2.45GHZ的多模上进波微波等离子体装置及设计方法

本发明公开了一种2.45GHZ的多模上进波微波等离子体装置及设计方法，装置包括微波激励源、矩形波导、短路活塞、模式转换天线、石英窗口、沉积腔室、沉积台和沉积衬底，其中，模式转换天线为倒梯形的环形天线，矩形波导和短路活塞均设置模式转换天线的上部，微波激励源发出的微波经矩形波导进入模式转换天线，短路活塞调节电场反射和馈入沉积腔室的微波能量，石英窗口设置在模式转换天线与沉积腔室之间；沉积腔室内底部中央位置设置沉积台，沉积台上方设置沉积衬底。本发明能在中心区域产生相较于常规2.45GHZ微波等离子体装置覆盖区域更大的驻波电场，实现反应室内沉积台上的等离子体的激发，进而能沉积出更大的金刚石薄膜。