基于自适应调控的单晶炉拉晶收尾参数控制方法及系统

本发明提供一种基于自适应调控的单晶炉拉晶收尾参数控制方法及系统，包括通过分布式传感器网络和加工设备接口，采集收尾起始点的生产数据和参数数据并进行处理后，得到晶体当前的状态数据；对晶体当期的状态数据执行相似度比对获得收尾阶段的初始工艺参数，基于晶体当期的状态数据和初始工艺参数推演预测晶体在收尾过程中的状态期望演化数据。本发明通过全状态感知、前瞻推演、风险量化与自适应调控的协同作用，将气泡捕获风险指数稳定控制在0.5以下，收尾阶段固液界面稳定性提升，且工艺过程不受操作人员经验水平影响，批次间光学均匀性一致性大幅改善。