一种氮化物外延片及其制备方法、LED器件

本发明公开一种氮化物外延片及其制备方法及LED器件，该制备方法包括如下步骤：在衬底基板上形成外延结构，得到氮化物外延片；其中，外延结构包括多个第一氮化物结构以及覆盖所有第一氮化物结构的氮化物外延层，每个第一氮化物结构设置于衬底基板上，衬底基板与氮化物外延层之间具有多个间隙空气层，间隙空气层与第一氮化物结构交替分布在衬底基板上。本发明通过设置间隙空气层可以有效缓解衬底基板和氮化镓外延层之间由于晶格失配和热失配产生的较大应力，提高了氮化物外延片的晶体质量和均匀性，从而提升器件的性能和可靠性。