一种基于压电逆效应的微流体泵送装置

本发明公开了一种基于压电逆效应的微流体泵送装置，包括从上至下依次设置的压电陶瓷振子、绝缘嵌圈、电极圈、金属基板、隔膜和对置板；压电陶瓷振子下底面设有电极层；压电陶瓷振子通过绝缘嵌圈卡接在电极圈的内孔中；隔膜上设有鼓励腔，对置板上设有液腔、进水孔和出水孔；进水孔和出水孔内部均卡接有单向阀；本发明结构设计合理，以压电陶瓷振子作为位移的产生源，通过压电逆效应，将电能转化为机械能，从而产生形变、通过框板及气动腔将形变量传输给超薄金属基隔膜，最终实现对流体的泵送效果；不但简化了结构，降低了生产技术要求，而且降低了流体阻力、提高了液体循环效率。