泵、化学物质供应单元和基板处理设备

本公开提供泵、化学物质供应单元和基板处理设备。根据本公开的实施方式的泵包括：壳体，具有形成在所述壳体中的压力空间；加压构件，通过加压管线连接到所述压力空间；以及多个管，设置在所述压力空间中，并且当所述加压构件通过所述加压管线将压力产生流体供应到所述压力空间时，所述多个管收缩。