层流元件、流量控制装置和半导体设备

本申请提供层流元件、流量控制装置和半导体设备，涉及半导体设备技术领域，用于解决如何提升层流元件的应用便利性的问题。具体的，该层流元件包括层叠设置的多个流道板，每个流道板包括实体结构以及流道组，每个流道组包括流道；任意相邻两个流道板中，位于上方的流道板的每个第一流道组对应位于下方的流道板的至少一个第二流道组，以组成一个对应组；在每个对应组中，第一流道组在垂直于厚度方向的第一平面上的正投影与对应的至少一个第二流道组在第一平面的至少一个正投影的部分重合；至少一个第二流道组被第一流道组周围的实体结构部分阻隔，以使得第一流道组的部分与对应的至少一个第二流道组的部分相连通以形成至少一个分流通道。