一种气体充注系统及方法

本发明涉及气体充注领域，公开了一种气体充注系统及方法，包括气源单元，用于提供至少两个气源，并对气源抽取；供气单元，其包括沿气流方向依次设有的进气电磁阀、高压汽化器、冷却器、过滤器、出气电磁阀以及供气自封接头；抽真空单元，其包括真空泵、与所述真空泵连通的真空电磁阀、与所述真空电磁阀连通的接通电磁阀、与所述进气电磁阀进口连通的前端电磁阀，以及与所述出气电磁阀出口连通的后端电磁阀；通过将气源管理、梯度抽真空、纯度反馈吹扫、恒压充注与残气回收等功能在智能控制单元的调度下深度集成，实现了充注作业的全流程自动化与连续化；显著提升了作业效率与安全性，彻底消除了作业中断与压力冲击风险。