一种梯度微锥阵列介电弹性薄膜、无泄漏离电压力传感器以及制备方法

本发明涉及压力传感器技术领域，提供了一种梯度微锥阵列介电弹性薄膜、无泄漏离电压力传感器以及制备方法。本发明在介电弹性薄膜表面设置梯度微锥结构，可以显著提高界面接触面积变化率，有效增强器件电容响应，提高电容响应的灵敏度，降低检测限，拓宽检测范围。本发明借助二氧化硅的锚定作用使液态离子和弹性薄膜牢固结合，不仅实现了薄膜的高柔性，而且消除了离子迁移和泄漏导致的信号漂移与环境污染，增强长期稳定性。利用所述梯度微锥阵列介电弹性薄膜构建的压力传感器具有灵敏度高、检测范围宽、检测限低、重复性好、工艺可控、结构稳定等特点，适用于人机交互、电子皮肤和可穿戴设备等多种柔性电子应用场景。