一种高灵敏度的微波压力传感器及其压力测量方法

本发明公开了一种高灵敏度的微波压力传感器及其压力测量方法，利用多模耦合线结构在有限电路面积内产生强电磁场聚集效应，结合固支梁在压力下引起的显著形变，实现了传感器的高灵敏度响应。通过双谐振峰差分检测机制实现多参量融合感知，有效抑制温度漂移和环境电磁干扰；内置的差分传感架构提供了信号冗余，避免了传统单谐振点传感器因单一信号失效或失真导致的整体测量故障，使抗干扰能力增强；通过灵活调整固支梁的刚度，可在宽范围内定制传感器的压力测量量程和灵敏度，实现了“一结构多规格”的柔性设计；采用平面集成电路工艺，具有结构紧凑、易于集成、适合批量制造的优点。