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기록

使用倏逝场光热冲镊在固体表面控制微纳物体移动的方法

발명유효
8청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

출원인

贵州大学

발명자

令狐双艺; 武立毅; 刘聿白; 高如意

IPC 분류

G01N 21/39 (2006.01)G01N 21/01 (2006.01)G01N 1/28 (2006.01)G01N 1/44 (2006.01)

本发明公开了一种使用倏逝场光热冲镊在固体表面控制微纳物体移动的方法,包括:微纳物体通过气相沉积法制备而得,微纳波导用光刻、沉积或火焰拉锥制备而得;使用三维调节架在显微镜下将微纳波导放置在固体衬底上或者用光刻、沉积等方式直接制备微纳波导‑衬底结构,再用三维调节架在显微镜下用探针将微纳物体放置到微纳波导的表面;调控脉冲激光的波长、脉宽、单脉冲能量,动态调制倏逝场;在非液体环境中,倏逝场与微纳物体相互作用,在微纳波导的固体表面上实现了对微纳物体的有效操控。本发明能实现金属与半导体微纳物体的有效操控,可操控材料范围更广,兼容性提升,光源要求低,系统复杂度降低,操控基底可选取曲面和平面波导。