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Dossier

一种气体浓度传感器和气体浓度传感系统

InventionActive
9Claims · 2 independent
§ Ⅰ

Dossier Overview

Inventor

邓淦元; 罗星熤; 朱玲

IPC Classification

G01N 21/41 (2006.01)G01N 27/00 (2006.01)G01D 21/02 (2006.01)

本发明提供一种气体浓度传感器,包括芯片和气敏薄膜,芯片包括下衬底层、设置于下衬底层上表面的电流扩展层、设置于电流扩展层上表面的光线发射接收模组、设置于光线发射接收模组上表面的透明上衬底层、P电极和N电极:光线发射接收模组包括设置于电流扩展层上表面的的LED光线发射模块和临近LED光线发射模块设置的PD光线接收模块;LED光线发射模块、PD光线接收模块分别在电流扩展层处与对应的P电极和N电极导通;气敏薄膜设置于上衬底层上表面。通过将PD光线接收模块与LED光线发射模块近距离集成,工艺简单,防止由于传输介质不均匀产生的衍射导致PD光线接收模块接收的信号发生波动,灵敏度高,稳定性好,检测结果精准。

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