一种多孔超构等离子体传感器、制备方法及应用

本发明涉及表面等离子体光子学与微纳光学传感技术领域，尤其涉及一种多孔超构等离子体传感器、制备方法及应用，包括衬底，所述衬底上依次设置有第一金属层、第一二氧化硅层、第二金属层和第二二氧化硅层；所述多孔超构等离子体传感器上设置有若干的纳米孔阵列；所述纳米孔阵列贯穿第一二氧化硅层、第二金属层和第二二氧化硅层。通过金属‑介质‑金属‑介质（如金/二氧化硅/金/二氧化硅）多层结构与周期性纳米孔阵列的协同作用，在可见光‑近红外波段激发强表面等离激元共振，实现了高吸收率、高灵敏度、高FOM值的完美结合，可用于气体浓度变化检测，解决现有等离激元传感器无法满足可见光‑近红外波段的工作需求的问题。