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Dossier
一种金属箔材断面缺陷的分析方法
InventionActive
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§ Ⅰ
Dossier Overview
Applicant
宁波江丰电子材料股份有限公司
Inventor
边逸军; 姚力军; 马明双; 陈勇军; 周友平
IPC Classification
G01N 23/2251 (2018.01)G01N 23/2202 (2018.01)G01N 23/2273 (2018.01)
本发明提供一种金属箔材断面缺陷的分析方法,所述分析方法包括如下步骤:(1)将处理后的金属箔材垂直放入模具中,用冷镶液凝固成型,脱模得到镶嵌后的样品;(2)将所述镶嵌后的样品与金属箔材垂直的两个端面进行磨抛处理,得到待分析样品;(3)采用扫描电镜和X射线能谱分析仪对待分析样品的断面缺陷进行分析。本发明通过冷镶法将金属箔材垂直镶嵌于树脂中,将两个端面磨抛处理后采用扫描电镜和X射线能谱分析仪进行缺陷分析;所述分析方法操作简便,不需要使用专用设备,适用性广。
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