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Dossier
一种离子检测器件
InventionActive
21Claims · 1 independent
§ Ⅰ
Dossier Overview
Inventor
王林志; 章凯迪; 林柏全
IPC Classification
G01N 27/00 (2006.01)
本发明公开了一种离子检测器件,包括衬底、电路层、离子敏感层、封装层、阻挡层,电路层位于衬底的一侧;电路层包括第一晶体管;离子敏感层位于电路层远离衬底的一侧;封装层位于离子敏感层远离衬底的一侧;封装层设置有第一通孔,第一通孔暴露部分离子敏感层;阻挡层位于电路层和离子敏感层之间;阻挡层包括第一阻挡部,在垂直衬底所在平面的方向上,第一阻挡部与第一通孔交叠。本发明实施例的技术方案可以提高器件可靠性。
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