一种用于晶圆的探针台主机设备机构

本发明涉及一种用于晶圆的探针台主机设备机构，包括：载片台机构、针卡平台机构和XY平台，针卡平台和XY平台将载片台机构包裹于两者之间；所述针卡平台机构包括针卡平台框架，针卡平台框架上设有针卡加持组件以及第一相机；载片台机构包括Z轴主体机构、顶杆组件、第二相机和T轴旋转组件，Z轴主体机构为升降机构，第二相机用于确定针卡位置，T轴旋转组件将直线运动转化为旋转运动；本发明通过竖向支撑架和横向框架对针卡平台机构进行稳定，同时旋转螺柱调节针卡平台水平稳定性，通过在Z轴主体机构上设置滚针导柱、载片台底座、升降台、压环形成一个稳定的框架升降结构，使Z轴主体机构精确运动。