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Dossier
适用于通过式射频功率监测设备的功率校准方法及系统
InventionActive
10Claims · 5 independent
§ Ⅰ
Dossier Overview
Applicant
济南东汉半导体设备有限公司
Inventor
李涛; 陈磊
IPC Classification
G01R 35/00 (2006.01)
本发明公开了一种适用于通过式射频功率监测设备的功率校准方法及系统,涉及射频信号功率校准技术领域,包括:搭建包括信号源和通过式射频功率监测设备的校准测试系统;固定信号源中心频点并调节输出电压有效值,获取恒温下监测设备的取样信号有效值和ADC采集电压值,构建第一拟合式;计算取样信号的实际功率和信号源的输入功率,确定耦合度;固定信号源输出电压有效值并调节频率,获取不同频率下的ADC采集电压值,构建频率补偿模型;固定信号源输出功率并调节温度,获取温度和耦合度并构建第二拟合式,再调节信号源输出功率,获取全功率范围的温度‑耦合度的拟合关系式;根据采集的实时值,结合上述公式与模型,计算得到校正后的实际功率。
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