一种片上集成的光学增益-探测单元

本发明公开了一种片上集成的光学增益‑探测单元，包括自底向顶方向依次设置的硅衬底、二氧化硅埋氧层以及薄膜铌酸锂层；薄膜铌酸锂层的顶部设有依次连接的输入波导模块、第一多模干涉波导、第一传输波导、光放大波导、第二传输波导、第二多模干涉波导、传输波导模块以及探测功能结构；通过光波导结构实现了光放大器与光电探测器的有效集成。本发明突破了传统分立器件技术瓶颈，降低了系统功能部件间的噪声和传输损耗，减少系统的功耗和封装尺寸及成本，提升了系统的整体性能及可靠性。同时实现了芯片内光信号的“放大‑传输‑探测”功能，能够为光传感、微弱光信号探测及放大器光功率自稳定输出等应用场景提供有力技术支撑。