离轴照明光机装置及照明方法

本公开提供了一种离轴照明光机装置，可应用于光学测量技术领域。该装置包括：固定圆盘；m套离轴照明光路，安装于固定圆盘上，每套离轴照明光路包括沿光路依次设置的：照明光源单元，用于提供输入光束；匀光耦合单元，用于对输入光束进行匀化处理；视场调节单元，用于限定照明区域的形状和大小；离轴照明角度调节单元，包括第一反射镜，通过调节第一反射镜的俯仰角度来改变光路出射方向；还包括：成像检测单元，用于获取被m套离轴照明光路的照明光场共同覆盖的目标区域的图像信息；以及控制单元，用于基于图像信息生成控制指令，以协同驱动离轴照明角度调节单元，将m套离轴照明光路的入射角度同步调节至目标值；其中，m为大于等于2的整数。