动态空间滤波器及光学检测系统

本申请实施例公开了一种动态空间滤波器，包括：多个具有预定形状的掩模，用于实现特定的空间滤波功能；X轴运动机构，掩模联接于X轴运动机构的运动输出端；X轴运动机构用于驱动掩模在X轴位移；Y轴运动机构，X轴运动机构的运动输出端承载于Y轴运动机构的运动输出端，Y轴运动机构用于驱动X轴运动机构的驱动输出端在Y轴位移；掩模通过X轴位移和Y轴位移调整二维位置；同时，本申请实施例公开了采用前述动态空间滤波器的光学检测系统；本申请可以二维动态控制空间滤波器的遮挡区域，实现对有图形的待检测对象图案空间信息频谱的灵活控制。