一种感光组合物、制备方法及其应用

本申请实施例提供了一种感光组合物、制备方法及其应用。该感光组合物为含有填料的PI、PAE、聚酰胺酸感光体系，在含有填料的上述感光体系中进一步选择特定结构的光引发剂能够有效提升感光组合物及其制得的感光层的图案化分辨率、解析性、深层固化性能以及较优的可加工性，且其制得的图案化膜还兼具良好的物化性能和机械性能；该感光组合物可以用于半导体器件的制造中，提升半导体器件的完整度和可靠性。