双远心投影成像镜头及激光直写光刻机

本申请涉及激光直写光刻机技术领域，具体公开了一种双远心投影成像镜头及激光直写光刻机，包括：第一透镜组、第二透镜组及光阑，第一透镜组位于物方与光阑之间，第二透镜组位于光阑与像方之间；第一透镜组包括多个透镜，其中1个透镜由火石玻璃制成；第二透镜组包括多个透镜，其中1个透镜由火石玻璃制成，且靠近像方的透镜为平面镜。本申请提供的双远心投影成像镜头仅使用2个火石材料的透镜，提高投影成像镜头的稳定性，同时通过一平面镜调整焦面位置，并保护内部电子元件。