一种基于双相机的小角度对准方法

本发明属于精密对准技术领域，提供了一种基于双相机的小角度对准方法，包括建立左右相机与对准平台之间的坐标映射关系，确定旋转中心与偏差标准，包括将左右相机的像素旋转中心映射至对准平台的XY坐标系，并根据旋转中心所属的坐标系设定偏差方向，标定角度与偏移量之间的系数关系，根据偏移量和系数关系计算移动机构的角度偏移量，根据晶圆标记间距与掩模版标记间距的关系选择对准模式；本发明建立双相机与平台的坐标映射，并基于小角度三角函数近似原理标定角度与偏移量的稳定系数关系，从而实现了在±0.5度的小角度旋转范围内，不受标记间距差异影响、稳定达到±1μm量级的高精度对准，显著提升了对准过程的可靠性与场景适应性。