一种带压力补偿的热式质量流量控制器及控制方法

本发明公开了一种带压力补偿的热式质量流量控制器及控制方法，热式质量流量控制器包括主通路组件、监测组件、限流组件和控制组件，主通路组件包括与监测组件连通的分流通路，以及连接有限流组件的限流通路，控制组件与监测组件及限流组件电连接；监测组件还包括压力传感器，压力传感器安装在分流通路的进气口处，压力传感器用于获取分流通路的压力值，并传输至控制组件中；本方案解决现有设备因未考虑压力波动影响导致流量失控的问题，以及缺乏压力快速响应机制易出现流量超调或滞后的问题。