温度控制装置、方法及存储介质

本发明提供了一种温度控制装置、方法及存储介质。温度控制装置包括设于加热盘内的加热丝和热电偶，驱动器以及控制器。驱动器包括电压电流采集电路及温度采集电路，并连接所述加热丝和所述热电偶。控制器被配置为：经由温度采集电路，采集所述热电偶所在位置的第一温度；经由电压电流采集电路，冗余地采集所述加热丝两端的电压与电流，以计算其电阻值；根据所述加热丝的电阻值，确定其第二温度；以及根据所述第一温度和所述第二温度，调节所述驱动器向所述加热丝输出的功率。通过采用上述配置，本发明能够兼顾温度采集的响应速度和对加热盘温度的控制精度，从而提高了半导体加工设备的自动化程度与便捷性。