电感耦合等离子体设备腔室的多物理场分布确定方法及系统

本公开提供一种电感耦合等离子体设备腔室的多物理场分布确定方法及系统，包括：将边界条件和工艺参数输入物理信息神经网络系统；利用流场分支，基于边界条件和工艺参数求解流体力学方程，得到流场物理参数；利用热传导场分支，基于边界条件和工艺参数求解能量守恒方程，得到热传导场物理参数；利用化学场分支，基于边界条件和工艺参数求解气相反应与表面反应方程，得到化学场物理参数；利用等离子体场分支，基于边界条件和工艺参数求解等离子体方程，得到等离子体场物理参数；利用电磁场分支，基于边界条件和工艺参数求解麦克斯韦方程，得到电磁场物理参数；对多个物理参数进行融合，得到多物理场分布信息；部分分支之间进行物理参数的传递。