基于MES的制造流程周期实时预测与动态优化方法

本发明涉及半导体制造技术领域，公开了基于MES的制造流程周期实时预测与动态优化方法，包括以下步骤：边缘设备实时采集生产设备的状态数据和工艺进度数据；边缘设备基于采集的实时数据与本地存储的历史数据进行对比分析，结合工艺标准值，若偏差超过预设阈值，则自动调整后续工序的执行顺序或参数；调整动作在本地执行后，边缘设备将决策结果上传至中央系统。通过边缘设备实时采集数据并对比分析，自动调整工序后上传中央系统，利用机器学习模型预测周期并生成优化策略反馈至边缘设备，实现制造流程周期的实时预测与动态优化，改善了传统集中式模式因数据采集延迟导致的预测准确性低的问题。