晶圆芯片的缺陷检测方法及装置

本申请涉及图像处理技术领域，公开了一种晶圆芯片的缺陷检测方法及装置；其方法包括：对原始晶圆图像进行预处理，所述预处理包括以下至少一项：对比度增强、噪声抑制与平滑、锐化增强和归一化处理；将预处理后的晶圆图像划分为多个芯片区域，并利用卷积神经网络提取每个芯片区域的特征向量，形成初始节点特征矩阵；基于芯片之间的空间位置关系，构建晶圆的空间邻接图；将所述初始节点特征矩阵和空间邻接图输入缺陷检测模型，输出晶圆级缺陷检测结果。本申请能够实现对缺陷在空间分布与关联特征层面的综合建模，提升了检测的准确性和鲁棒性。