磁极保护组件及质量分析装置

本申请公开了一种磁极保护组件及质量分析装置，涉及半导体离子注入技术领域，磁极保护组件包括外侧板、内侧板、顶板和底板，外侧板、内侧板、顶板和底板共同组成一个两端开口的曲线形腔体。外侧板由多块外单元板拼接形成，相邻外单元板之间设置外间隙板进行连接，内侧板由多块内单元板拼接形成，相邻内单元板之间设置内间隙板进行连接。通过上述设置，当需要更换损坏较为严重的保护层时，可以拆除特定的外间隙板或者内间隙板，将对应的外单元板或者内单元板进行更换，更换过程方便快捷，不需要拆除其他结构，并且能够根据需要针对性拆除对应的外单元板或者内单元板，从而降低石墨材料的保护层的损耗。