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Dossier
一种扫描电镜载物台和扫描电镜
InventionActive
10Claims · 2 independent
§ Ⅰ
Dossier Overview
Inventor
高钰涵; 陈云超; 李焙; 徐深秋; 钱森森
IPC Classification
H01J 37/20 (2006.01)H01J 37/28 (2006.01)G01N 23/2204 (2018.01)
本发明实施例公开一种扫描电镜载物台和扫描电镜,所述扫描电镜载物台包括:样品底座、至少一个夹持组件和基座,所述样品底座与所述基座升降连接,每个所述夹持组件用于夹持一个待测样本,每个所述夹持组件的底部与所述样品底座通过万向连接装置万向连接。本申请实施例提供的扫描电镜载物台的夹持组件与所述底座之间通过万向连接装置万向连接,使得夹持组件夹持的待测样本可以相对所述底座万向旋转。具有不规则的待测样本的不规则表面可以在所述万向连接装置的作用下进行万向旋转,从而不规则表面可以正对扫面电镜的镜头,再通过基座与所述样品底座的升降连接调整所述样品底座与镜头的距离,进而可以对待测样本的不规则表面进行更好地观测。
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