一种等离子体增强管内壁表面改性处理装置及其方法

本发明涉及表面处理技术领域，尤其涉及一种等离子体增强管内壁表面改性处理装置及其方法。其主要针对现有内管壁表面改性技术中均匀性差、附着力不足、膜层质量不高、操作复杂等缺陷的问题，提出如下技术方案包括等离子体电源、传输系统、匹配箱、等离子体表面处理系统、管式炉加热系统、真空系统、气源、流量控制单元、显示系统和控制系统；等离子体电源用于为表面改性处理提供能量，其输出端通过传输系统与匹配箱输入端连接，匹配箱输出端与等离子体表面处理系统耦合。本发明构建多组件协同的等离子体增强管内壁处理系统，实现多样性能提升，还具有场景适应性、环保、高效及易扩展性，为管内壁改性提供可靠方案，推动工业化应用。