体声波谐振器及其制备方法、滤波器、电子设备

本申请实施例公开了体声波谐振器及其制备方法、滤波器、电子设备，该体声波谐振器包括衬底；堆叠设置于所述衬底之上的第一电极、压电薄膜层和第二电极，所述压电薄膜层设置于所述第一电极和所述第二电极之间，且覆盖所述第一电极；第一反射结构，所述第一反射结构设置于所述衬底和所述压电薄膜结构之间；第二反射结构，所述第二反射结构设置于所述衬底之上、并且嵌入所述压电薄膜层中。本申请实施例提供的体声波谐振器及其制备方法、滤波器、电子设备，可以在提高小面积谐振器的Q值，从而可以提高小面积谐振器的性能。