一种驱动器及半导体加工设备

本发明提供了一种驱动器、半导体加工设备。所述驱动器包括电压电流采集电路及第一滤波电路。电压电流采集电路；以及第一滤波电路，位于三相交流电源与待驱动的加热丝之间，并包括差模电容组、第一共模电感组及共模电容组，其中，所述差模电容组连接所述三相交流电源，所述第一共模电感组连接所述差模电容组，所述共模电容组连接所述第一共模电感组。