一种信号层线路的动态蚀刻补偿优化方法

本发明公开了一种信号层线路的动态蚀刻补偿优化方法，包括：获取最终补偿参数、确定补偿区间、对相邻的补偿区间进行平滑处理等步骤。通过上述方式，本发明一种信号层线路的动态蚀刻补偿优化方法，通过投影的方式得到直线物件的补偿区间，以有效提升对直线物件补偿分区的速度以及准确度，从而大大提高了补偿优化的效率以及补偿效果，降低了生产成本，同时，通过在相邻区间内添加横向阶梯线过度的方式，以动态控制补偿的平滑度，保证了产品的良率。