一种与石英舟协同的改善扩散均匀性的可调节扩散装置

本发明专利涉及晶硅太阳能电池片技术领域，尤其指一种与石英舟协同的改善扩散均匀性的可调节扩散装置，包括炉体，炉体内放置有石英舟和进气管及导气管，石英舟包括调节机构、支撑柱和端挡板，导气管分为上导气管和下导气管，上导气管和下导气管平行分布，下导气管与进气管接通，炉体处远离进气管一端设置有出气管。该装置能够使得每片硅片正反表面的杂质浓度分布更为均匀，大幅提升了批次硅片的均匀性，减少了明暗片、色差等不良现象，从根本上消除因气体分布不均导致的扩散死角，还能根据工艺需求主动创造最佳的反应气压环境，抑制气体湍流，促进反应气体分子的有效扩散和吸附。