一种红外辐射光的背接触热光伏器件结构和制备工艺

本发明公开了一种红外辐射光的背接触热光伏器件结构和制备工艺，属于热光伏发电领域。一种背接触热光伏器件制作工艺，包括以下步骤：取P型衬底进行硼扩散，形成P+前场；刻蚀衬底背面部分的P+前场，以预留N区的形成区域；在衬底的背面沉积形成掺磷的纳米晶硅薄膜层；在衬底的背面或双面沉积形成叠层膜；在P区与N区的局部开模，其中，P区开模包括，打开叠层膜以及其下方的掺磷的纳米晶硅薄膜层；N区开模包括，打开叠层膜；在背面镀金属膜，以形成正负极；进行图形化，使得正极上的金属膜与负极上的金属膜隔离。与现有技术相比，本发明的背接触热光伏器件正面没有电极遮挡，增加正面受光，提升正面红外辐射光电转换效率；并且正面增加p+前场，背面P区金属接触区增加p+层，提升光生载流子的收集效率，降低接触区电阻，提升整个器件的热辐射光电转换效率。