一种热释电红外探测器及热释电红外探测器制备方法

本发明公开了一种热释电红外探测器及热释电红外探测器制备方法，应用于红外探测领域，包括：依次设置的读出电路结构、第一电极、热释电单晶薄膜层、第二电极和红外辐射吸收层；红外辐射吸收层至少对波长3微米至14微米的红外辐射有效吸收；热释电单晶薄膜层通过第一电极与读出电路结构连接；热释电单晶薄膜层通过对供体衬底进行离子注入处理在供体衬底中形成注入层，并将供体衬底进行离子注入处理的表面与支撑衬底键合连接，而后在注入层处对供体衬底进行剥离的步骤，形成在支撑衬底的表面。本发明通过设置至少对波长3微米至14微米的红外辐射有效吸收，并通过离子注入、键合、剥离等步骤制备热释电单晶薄膜层，能够实现对人体等弱目标的检测。