一种抗干扰压电式阵列柔性传感器及其制备方法

本发明公开了一种抗干扰压电式阵列柔性传感器及其制备方法，属于压力传感器技术领域。本申请抗干扰压电式阵列柔性传感器由上而下包括：触觉层、上电极层、压电层、下电极层和下基板，其中触觉层为被十字结构制造的缝隙分裂成四部分的分体结构；通过改变触觉层和压电层结构，本发明传感器在保证可进行三维力检测的同时能够有效降低载荷的干扰，从而极大降低了精确测量单个电极压电响应情况的难度。