一种基于MXene中间层的蓝宝石键合方法、异质晶圆及其应用

本发明提供一种基于MXene中间层的蓝宝石键合方法、异质晶圆及其应用，尤其涉及半导体材料技术领域。本发明的基于MXene中间层的蓝宝石键合方法，以MXene二维材料作为键合中间层，所述键合中间层厚度为1~10nm。本发明的蓝宝石键合方法通过MXene独特的表面化学活性与物理特性，表面富含羟基、氟基等活性官能团，可显著提高界面化学键合能力，降低键合温度避免高温致损，且MXene中间层仍保持优异的柔韧性，能够充分贴合蓝宝石表面的微观起伏，实现蓝宝石界面的高强度化学键合与应力缓冲，可广泛应用半导体器件制备。